“6英寸时代，我们跟上了市场；8英寸时代，我们正领先行业。今年公司投资扩产的重中之重将放在济南项目上，大幅提升8英寸碳化硅衬底产能，快速推进产品升级迭代。”广州南砂晶圆半导体技术有限公司（下称“南砂晶圆”）董事长王垚浩日前对记者表示。
王垚浩口中的“济南项目”，是去年注册成立的山东中晶芯源半导体科技有限公司（下称“中晶芯源”）。作为深耕碳化硅衬底及相关产品研发、生产和销售的国家级专精特新“小巨人”企业，南砂晶圆计划将中晶芯源打造成为全国重要的8英寸碳化硅衬底生产基地，于2025年实现满产达产。
山东在龙年春节后首个工作日召开的全省高水平开放暨高质量招商引资大会，发出了深化大开放、拓展大招商的动员令。
南砂晶圆核心生产基地“花落”山东，是鲁信集团直管企业鲁信创投扛牢地方国有创投机构使命担当，充分发挥优质科创企业资源及信息优势，积极为山东高质量招商引资搭建桥梁的又一例证。
鲁信集团党委书记、董事长陈秀兴说：“多年来，鲁信集团发挥旗下鲁信创投等直管企业优势，持续纵深布局‘硬’科技领域，挖掘赋能‘高’科技项目，着力搭建拥有关键核心技术、创新能力突出的优质企业‘朋友圈’。下一步，我们将更加积极主动挖掘第一手资源和信息，助力山东通过高质量招商引资引进新变量、培育新动能、塑成新优势。”
敏锐发掘优质项目 助力实现技术突破
近年来，以碳化硅、氮化镓等材料为代表的第三代半导体已成为全球半导体产业新的战略竞争高地。其中，碳化硅半导体器件已在5G通信、轨道交通、新能源汽车及充电桩、大数据中心等领域展开广泛应用。“碳化硅功率器件在新能源汽车中的渗透率正快速提升，可有效提升续航能力与充电效率，并降低整车成本。”王垚浩举例说，主驱逆变器搭载碳化硅基MOSFET后，可节电5%至10%，并带来可观的成本节省空间。截至今年年初，配备碳化硅功率器件的新能源车型较去年同期增长了数倍。
一边是爆发式攀升的市场需求，一边却是碳化硅衬底制备领域高企的技术与工艺壁垒。王垚浩说，依托山东大学晶体材料国家重点实验室徐现刚教授团队的技术成果，2018年注册成立的南砂晶圆，很快突破了碳化硅单晶生长及衬底制备技术，为其国产商业化奠定了良好基础。“但这一行业除颇高的技术门槛外，还具有资本密集的特性。”王垚浩表示。
2021年，在半导体尤其是碳化硅行业进行较早布局并计划深度挖掘的鲁信创投，凭借对科创型项目的专业辨别能力与赛道把握能力，在严格审计及评估的基础上，敏锐发掘出南砂晶圆这一优质项目。当年5月，鲁信创投成为南砂晶圆A轮融资领投方，投资逾亿元，也开启了双方携手奋进的序幕。
在“真金白银”的有力加持以及鲁信创投覆盖核心耗材、衬底生产、芯片设计、晶圆制造、模块封装等全产业链的投资布局赋能下，南砂晶圆技术成果加速迭代，长晶与生产加工环节良率持续提升——2021年启动导电型衬底研发，2022年领先行业研发出8英寸衬底并完成主要下游客户验证，2023年导电型衬底对部分客户进入批量供货阶段……
王垚浩说：“从6英寸到8英寸，衬底面积扩大了近1.8倍，但难度系数呈几何倍数提升。这个过程中，鲁信创投给予了我们极大的支持与信任，确保公司能够持续加大研发力度，着力提高工艺水平，并搭建起完整的全自动激光切割流程设备线，实现了从‘0’到‘1’的突破。”
从4英寸起步、6英寸追赶到如今的8英寸领先，南砂晶圆蹄疾步稳。王垚浩说：“通过多措并举，各环节协同发力，目前公司8英寸衬底产品各项技术参数已位列国内第一梯队。”
找准产业契合点 捕捉企业关注点
在王垚浩看来，随着技术工艺的日益成熟、制备难度及成本的逐步下降以及产业链上下游的协同完善，碳化硅衬底价格下降趋势已然明朗。“对于行业发展是好事，必将进一步拓展应用场景。而这也对当下本就供不应求的衬底产能，提出了更高要求。”
如何在最短时间内实现产能攀升，满足持续旺盛的市场需求，成为南砂晶圆第二个“五年规划”中的重中之重。“创业的前5年，我们的重点任务是通过持续研发创新，实现关键技术突破，搭建起自主、核心技术体系。如今进入第二个5年，公司将着力在规模化生产上下功夫，迅速提升产能，确保稳定供应，力争在未来5年内迈入全球行业前列。”王垚浩说。
而这一扩产计划，让同时身为南砂晶圆重要投资人以及山东地方国有创投机构的鲁信创投，嗅到了机遇，找到了契合点。“南砂晶圆扩产计划的酝酿、讨论、调研以及最后敲定，我们在投后服务中均全程参与，第一时间掌握了准确消息。为助力山东抢抓产业发展战略机遇，我们认为引入南砂晶圆这一行业龙头企业，将进一步优化第三代半导体产业发展布局，提升产业整体竞争力，进而带动全省电子信息产业的融合发展。”鲁信创投副总经理葛效宏对记者表示。
为此，鲁信创投精准对接、靶向出击，在找准产业契合点、捕捉企业关注点的基础上，协调山东各方资源，吸引南砂晶圆落地山东。
“8英寸衬底具备更大的芯片利用面积及成本优势，我们计划将济南项目全部建设8英寸衬底产能，逐步将其打造为公司主力产品，进而在以6英寸衬底为主的市场供给结构中实现异军突起、弯道超车。”王垚浩对记者透露。
值得注意的是，在鲁信创投积极对接关键材料提供方及上下游供应商的助力下，南砂晶圆济南项目中高达99%的原材料、95%的主要生产设备将实现国产化。“作为碳化硅衬底行业龙头企业，南砂晶圆在大力提升国产化率方面发挥的领军带头作用，也将有力促进山东补齐产业链缺失环节，促进产业链上下游、大中小企业紧密配套、融通发展，打造空间集聚、功能关联的第三代半导体产业集群。”葛效宏表示。
搭建招商引资“桥梁” 对接更多企业来鲁投资
高质量招商引资的“高”，体现在招引的视野理念、机制手段、产业层次和项目质量上，这同样是鲁信创投纵深布局“硬科技”项目、“长周期”扶持创新型科技企业、“全流程”赋能实体产业的关键词。
作为山东省重要投融资主体和资产管理平台——鲁信集团旗下从事创业投资业务的核心板块，鲁信创投近年来紧跟国家战略，持续聚焦新一代信息技术、高端装备制造、医疗大健康、新能源、新材料、半导体、航空航天等战略性新兴产业，助力山东集中力量攻坚突破，通过引进标志性牵引性大项目，大力提升创新驱动力，优化调整生产力布局，延链补链强链、做大做精做强，助力培育一批具有全国乃至全球影响力的产业链。
除迅速响应《山东省第三代半导体产业发展“十四五”规划》，成功引入南砂晶圆、艾恩半导体落地山东外，鲁信创投还积极助力山东在航天航空方面勇当创新标杆，已先期投资蓝箭航天、微焓科技、鸿侠科技等行业龙头企业，并持续助推其与山东企业加强合作。
据介绍，目前鲁信创投90%以上的资金投资在“硬科技”领域，已成功投资培育了一批新材料、高端制造等领域的行业龙头企业。鲁信创投党委书记、董事长王旭冬说：“我们将围绕山东产业发展现有基础及战略布局，借助一手资源及信息，通过精准招商、产业链招商、以商招商、资本招商等创新途径，积极对接更多龙头企业、重点工业企业来山东投资，在‘进’上寻求突破，在‘立’上厚植优势。”
